LUYOR-3325G路陽便攜式黃綠光表面檢查燈-用于晶圓表面質(zhì)量檢測(cè)

采用了36w的高功率led作為光源，能夠發(fā)出570-580nm的黃綠光，光斑均勻，產(chǎn)品輕便，可以手持著檢查產(chǎn)品表面的顆粒物、劃痕、手印等產(chǎn)品缺陷，也可以配合臺(tái)式支架作為臺(tái)式表面檢查燈進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間檢查。

LUYOR-3325G路陽便攜式黃綠光表面檢查燈與 100 瓦高壓汞燈相比的優(yōu)勢(shì)：

1.輕便：沒有繁重電源箱，手持操作，方便快捷。

2.省時(shí)：即可即用，無需等待。

3.經(jīng)濟(jì)：光源壽命長(zhǎng)達(dá)50000小時(shí)，無須頻繁更換燈泡。堅(jiān)固耐用、維護(hù)成本低

4.光斑均勻，檢查效率高，減少漏檢。

5.安全：長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，不發(fā)燙，沒有燙傷危險(xiǎn)。

6.高效：led光源，發(fā)光效率高，節(jié)省能源。

7.光譜純正：不會(huì)產(chǎn)生紫外線。

上圖:交流供電的便攜式表面檢查燈LUYOR-3325G

可用LUYOR-3325G檢查的晶圓類型：

半導(dǎo)體和芯片制造中的晶圓檢測(cè)

太陽能行業(yè)和光伏發(fā)電的晶圓測(cè)試

所有晶圓尺寸的視覺晶圓表面測(cè)試：25mm（1英寸）、38mm（1.5英寸）、51mm（2英寸）、75mm（3英寸）、100mm（4英寸）、125mm（5英寸）、150mm（6英寸）、200mm（8英寸）、300mm（12英寸）、450mm（18英寸）

外延晶圓的檢測(cè)

單晶硅片和多晶晶片的光學(xué)測(cè)試

硅片表面的目視測(cè)試

也可以檢查方形晶圓

原晶圓和結(jié)構(gòu)化晶圓的測(cè)試

外延晶圓（EPI晶圓）和SOI晶圓表面分析

用黃光燈測(cè)試金晶圓

使用 紫外燈目視檢查晶體硅片

所有材料晶圓的光學(xué)表面檢測(cè)：硅、鍺、碳化硅、砷化鎵、藍(lán)寶石、玻璃等。

SEMI標(biāo)準(zhǔn)晶圓的目視檢測(cè)

鍵合晶圓、膠帶晶圓的質(zhì)量檢查

視覺晶圓檢測(cè)也適用于裸晶圓、薄晶圓和扇出晶圓

強(qiáng)曲面晶圓（eLWB等）的光學(xué)質(zhì)量控制和檢測(cè)等。

上圖：電池供電款表面檢查燈LUYOR-3325GD

顆粒檢測(cè)-減少晶圓生產(chǎn)/半導(dǎo)體生產(chǎn)中的污染

除了晶圓檢測(cè)過程中的目視表面檢測(cè)，即通過黃光燈或綠光燈進(jìn)行部分自動(dòng)化的晶圓檢測(cè)外，許多半導(dǎo)體制造商還有進(jìn)一步的要求：

使用測(cè)試燈檢查系統(tǒng)中的顆粒污染

使用黃光表面檢查燈或UV-LED  紫外線燈進(jìn)行粒子檢測(cè)

晶圓生產(chǎn)過程中潔凈室中質(zhì)量控制的顆粒檢查

搜索并查找用于清潔半導(dǎo)體生產(chǎn)中機(jī)器的顆粒

在持續(xù)的質(zhì)量控制過程中清潔和保持生產(chǎn)設(shè)備的清潔

在大多數(shù)情況下，顆粒檢測(cè)只能通過人工檢查進(jìn)行，因此可以使用便攜式表面檢查燈、綠燈或紫外線燈進(jìn)行檢查。

上圖：表面檢查燈LUYOR-3325G檢查晶圓表面顆粒物

上圖：表面檢查燈LUYOR-3325G檢查玻璃屏幕的劃痕和顆粒物